光刻機(jī)用低溫冷水機(jī)組多運(yùn)用于各個(gè)行業(yè)之中，很多行業(yè)都需要購買光刻機(jī)來進(jìn)行作業(yè)，這也涉及到光刻機(jī)用低溫冷水機(jī)組的日常維護(hù)。

　　1、光刻機(jī)用低溫冷水機(jī)組組冷卻系統(tǒng)的基本部件有：冷凝器、受液器、干燥過濾器、蒸發(fā)器、熱膨脹閥等等。

　　2、光刻機(jī)用低溫冷水機(jī)組組是將常溫的水通過冷水機(jī)的壓縮機(jī)制冷到溫度以強(qiáng)化冷卻模具或機(jī)器，作為單機(jī)使用，散熱裝置為內(nèi)置之風(fēng)扇，主要有三個(gè)相互聯(lián)系的系統(tǒng)：制冷劑循環(huán)系統(tǒng)、水循環(huán)系統(tǒng)、電器自控系統(tǒng)。

　　3、光刻機(jī)用低溫冷水機(jī)組蒸發(fā)器中的液態(tài)制冷劑吸收水中的熱量并開始蒸發(fā)，終制冷劑與水之間形成溫度差，液態(tài)制冷劑亦蒸發(fā)變?yōu)闅鈶B(tài)，后被壓縮機(jī)吸入并壓縮（壓力和溫度增加）,氣態(tài)制冷劑通過冷凝器釋放熱量，凝結(jié)成液體。通過膨脹閥（或毛細(xì)管）節(jié)流后變成低溫低壓制冷劑進(jìn)入蒸發(fā)器，完成制冷劑循環(huán)過程。

　　4、定期清洗冷凝器、蒸發(fā)器，使整機(jī)保持良好運(yùn)轉(zhuǎn)；保持光刻機(jī)用低溫冷水機(jī)組冷卻塔清潔干凈，定期清洗，冷卻塔內(nèi)不得有雜物及其它障礙物，以免造成傷害。

　　5、光刻機(jī)用低溫冷水機(jī)組的冷凍水泵不可在水箱內(nèi)無水運(yùn)轉(zhuǎn)；操作開關(guān)請盡理避免連續(xù)切換。

6、水溫達(dá)到設(shè)定溫度時(shí)，壓縮機(jī)會自動(dòng)停止運(yùn)行，此屬正?，F(xiàn)象；溫度開關(guān)應(yīng)避免設(shè)定在5℃以下，防止蒸發(fā)器結(jié)冰。